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化学气相沉积(CVD)炉(半导体行业专用)

化学气相沉积(CVD)炉(半导体行业专用)

  • 所属分类:陶瓷、半导体材料热工装备
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  • 发布时间:2025-07-23 18:00:31
  • 产品概述

设备概述:

 化学气相沉积(CVD)炉(半导体行业专用)用于晶圆级薄膜沉积的关键工艺装备

技术特点:

 高纯度薄膜沉积(纯度>99.9999%,颗粒污染<0.1个/cm²)

原子级厚度控制(±1Å精度,支持1-500nm薄膜)

多材料兼容(Si/SiC/GaN/二维材料等)

技术参数(可接受非标定制):

化学气相沉积(CVD)炉(半导体行业专用)

产品展示:

5-14-1

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