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上海化学气相沉积(CVD)SiC涂层

上海化学气相沉积(CVD)SiC涂层

  • 所属分类:上海C/C复合材料热工装备
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  • 发布时间:2025-07-23 17:59:30
  • 产品概述

设备概述:

化学气相沉积(CVD)SiC涂层专为碳基材料抗氧化/耐磨涂层设计的工业级解决方案。

碳碳复合材料:航空刹车盘抗氧化涂层(1600℃使用寿命>200h)

半导体装备:石墨坩埚防硅渗透涂层

核工业:燃料球包覆层(TRISO燃料)

军工:导弹鼻锥耐烧蚀涂层

技术特点:

超纯SiC涂层(纯度>99.99%,无游离硅)

高温均匀沉积(1200-1600℃±5℃温控)

复杂件全包覆(深孔/曲面涂层均匀性>95%)

业级产能(单炉处理Φ500×1000mm部件,沉积速率10-50μm/h)

技术参数(可接受非标定制):

化学气相沉积(CVD)SiC涂层

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化学气相沉积(CVD)SiC涂层


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