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上海SWCNT CVD生产炉

上海SWCNT CVD生产炉

  • 所属分类:上海先进储能材料热工装备
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  • 发布时间:2025-07-23 17:58:39
  • 产品概述

设备概述:

SWCNT CVD生产炉是一种专用于高质量单壁碳纳米管合成的先进设备,通过催化裂解碳源气体在基底表面生长SWCNT。其核心优势在于手性选择性控制和规模化生产能力,适用于科研机构、半导体及新能源材料企业。

技术特点:

项目 技术指标

温度范围 600-1200℃(分段控温±1℃)

碳源气体 CH₄/C₂H₂/CO/乙醇(纯度≥99.999%)

催化剂系统 Fe/Co/Mo纳米颗粒(1-5nm)

载气/蚀刻气 H₂/Ar/N₂(比例可调)

生长基底 Si/SiO₂/石英/金属箔(可选)

真空系统 机械泵+分子泵(极限5×10⁻⁴ Pa)

产能(连续模式) 5-20g/h(卷对卷可达50g/h)

技术参数(可接受非标定制):

SWCNT CVD生产炉

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SWCNT CVD生产炉

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株洲晨昕中高频设备有限公司

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  • 高温碳化炉

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